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DVIA-MO系列主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)

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北京卓立漢光儀器有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

DVIA-MO 系列高精密主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)為韓國(guó)DAEIL（大一）株式會(huì)社生產(chǎn)的主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)，由臺(tái)面和主動(dòng)隔振支撐兩部分組成。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品概述

DVIA-MO 系列高精密主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)為韓國(guó)DAEIL（大一）株式會(huì)社生產(chǎn)的主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)，由臺(tái)面和主動(dòng)隔振支撐兩部分組成。
臺(tái)面采用真蜂窩三層夾心式結(jié)構(gòu)，上臺(tái)面為熱形變系數(shù)很小的430 系列高導(dǎo)磁鎳合金不銹鋼，臺(tái)面按照25mmX25mm 孔距均布M6 螺紋孔，方便安裝儀器，每個(gè)螺紋孔下方具有獨(dú)立的隔離杯，方便清潔。中間是真蜂窩支撐結(jié)構(gòu)，是把0.25 毫米厚度的鋼板加工成蜂巢的結(jié)構(gòu)，增加了臺(tái)面結(jié)構(gòu)的密度，減小體積，采用的粘合工藝，堅(jiān)固耐用。臺(tái)面的底部和側(cè)板用碳鋼作為主體材料，具有非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)和靜態(tài)的剛性。
主動(dòng)隔振支撐部分主要包括了被動(dòng)隔振機(jī)構(gòu)和主動(dòng)隔振器DVIA-M，每個(gè)支撐里面一般會(huì)有4 個(gè)DVIA-M 系列主動(dòng)隔振器和一臺(tái)主控箱。主動(dòng)隔振器包含了采集信號(hào)的傳感器和消除振動(dòng)的驅(qū)動(dòng)器，主要消除0.5-10Hz 的外部振動(dòng), 被動(dòng)隔振系統(tǒng)部分同時(shí)承擔(dān)著支撐負(fù)載和隔絕高頻率振動(dòng)的作用。
這個(gè)系列的平臺(tái)可以在低頻范圍（0.5-10Hz）提供非常隔振性能，它可以應(yīng)用于很多對(duì)振動(dòng)要求非常高，甚至具有挑戰(zhàn)的領(lǐng)域，比如高分辨率的光譜儀、高分辨率電子顯微鏡和精密納米科學(xué)研究和制備等。

主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)DVIA-MO系列特點(diǎn)：

•具有非常優(yōu)良的隔振性能，特別是在低頻0.5Hz-10Hz達(dá)到90%以上的隔振效率；

•采用慣性傳感器，可以檢測(cè)出六個(gè)自由度的振動(dòng)并做補(bǔ)償；

•采用真蜂窩三層夾心式結(jié)構(gòu)臺(tái)面，厚度可選100/200/300mm；

•進(jìn)口精密主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)；

•隔振性能優(yōu)異,廣泛應(yīng)用于掃描探針顯微鏡,原子力顯微鏡，掃面隧道顯微鏡，激光干涉儀 ,半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備，三維形貌分析儀和激光共聚焦顯微鏡等

細(xì)節(jié)說明：

應(yīng)用案例

光學(xué)平臺(tái)隔振性能參數(shù)：

主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)DVIA-MO系列技術(shù)指標(biāo)：

• 固有頻率：0.5-100Hz

• 自動(dòng)平衡，相應(yīng)時(shí)間短，平衡速度快

• 鋼制真蜂窩結(jié)構(gòu),：0.25mm厚箔

• 蜂窩芯尺寸：3.2cm2 (0.5 in²)

• 表面平整度：±0.1mm (±0.004 in.) /600 mm² (2 ft.)

• 上臺(tái)面：4mm厚度430 系列高導(dǎo)磁鎳合不銹鋼

• 下地面 4.5厚碳鋼，表面氧化處理

• 邊墻板 2.0mm厚碳鋼。包裹高阻尼聚乙烯材料

• 孔徑： M6 (英制螺孔可選)

• 孔距：25mmX25mm(英制孔距可選)，*外邊孔距平臺(tái)邊緣37.5mm

• 螺孔密封：每個(gè)螺紋孔下方設(shè)有柱形隔離杯密封，方便清潔

• 阻尼隔振方式：寬帶阻尼

DVIA-M系列主動(dòng)隔振器參數(shù)表：

型號(hào)		DVIA-M1000	DVIA-M2000	DVIA-M3000
尺寸	隔振器(mm)	215x215x180	232x232x180	308x308x180
	控制器(mm)	334x357x120	334x357x120	334x357x120
*大負(fù)載(kg)		1500-3500	1500-3500	1500-3500
重量(kg)		15	15	15
驅(qū)動(dòng)方式		電機(jī)驅(qū)動(dòng)
隔振自由度		6個(gè)自由度
隔振效率		95%-99%at 10Hz
回復(fù)時(shí)間		<0.5Sec
驅(qū)動(dòng)器推力		豎直>20N,水平>40N
輸入電壓		AC 85-264/50-60Hz
功率消耗		峰值功率110W,穩(wěn)定功率50W
空氣壓力		大于0.5Mpa
環(huán)境要求	溫度℃	5-50°C
	濕度	20%-90%
主動(dòng)隔振頻率范圍		0.5-100Hz
初始水平調(diào)整		自動(dòng)調(diào)整
系統(tǒng)配置		4個(gè)隔振器包含控制箱