品名:X射線熒光鍍層厚度測量儀SFT9400型號:SFT9400系列概要:SFT9000系列里機(jī)型“SFT9455",搭載75W高速X射線管和雙重檢驗(yàn)裝置(半導(dǎo)體檢驗(yàn)裝置十比例計(jì)數(shù)管)
品名: X射線熒光鍍層厚度測量儀SFT9400
型號: SFT9400系列
概要: SFT9000系列里機(jī)型“SFT9455",搭載75W高速X射線管和雙重檢驗(yàn)裝置(半導(dǎo)體檢驗(yàn)裝置十比例計(jì)數(shù)管)。適用“薄膜"、“金屬膜"、“極微小部分測定"等所有鍍膜膜厚測定要求的高性能膜厚測量儀器。而且“SFT9455"在鍍膜厚度測量功能的基礎(chǔ)上還可以用作異物定性分析和材料成分分析。
特長
搭載雙向分離工檢測器(半導(dǎo)體檢測器+比例計(jì)數(shù)管):搭載在X射線能量分辨率上,優(yōu)秀的半導(dǎo)體檢測器(起作用液化氮)和計(jì)數(shù)率優(yōu)秀的比例計(jì)數(shù)管,能夠根據(jù)運(yùn)用需要對應(yīng)使用。特點(diǎn)是半導(dǎo)體檢測器,能夠區(qū)分Ni和Cu這樣相似的元素。它有以下的特點(diǎn):
1.能夠?qū)i/Cu和Au/Ni/Cu不需要二次過濾的情況下進(jìn)行測定。
2.對于含Br的打印基板,可以做到不受Br干擾進(jìn)行高精度的Au鍍膜厚度測定。
3.能夠測定0.01μm以下極薄的Au鍍膜。
4.薄膜FP軟件:對應(yīng)含鉛的合金鍍膜和多層鍍膜等,適用于廣泛的運(yùn)用領(lǐng)域。
5.適用測定極微小部分,15μmΦ的準(zhǔn)直管為標(biāo)準(zhǔn)裝備。能夠測定微小部分鍍膜厚度。
6.搭載75W高性能X射線管。
7.容易對微小領(lǐng)域進(jìn)行觀察。搭載了能4階段切換的可變焦距光學(xué)系統(tǒng)。
8.能夠測定大型打印基板的大型平臺。
9.依據(jù)照明,能夠觀察以往難以觀察的樣品。
10.搭載了防止有凹凸的樣品碰撞的傳感器。
11.利用伺服馬達(dá)精確的驅(qū)動(dòng)平臺。
12.正確的對焦,利用激光能夠正確得對焦測試樣品。
13.報(bào)告制作軟件,運(yùn)用微軟的軟件能夠簡單得把測定的數(shù)據(jù)制作成書面材料。
型號 | SFT9455系列 | 測定元素 | 原子序號22(Ti)~ 83(Bi) | X射線管 | 管電壓:50kV管電流:1.5mA | 檢測器 | 半導(dǎo)體檢測器+比例計(jì)數(shù)管 | 準(zhǔn)直器 | 4種(0.015、0.05、0.1、0.2mmΦ) | 樣品觀察 | CCD照相機(jī)(帶可變焦距功能) | 對焦 | 激光向?qū)?/td> | 過濾器 | 電動(dòng)切換(一次: Mo、二次: Co) | X-ray Station | 電腦、17英寸CRT | 打印 | 噴墨打印機(jī) | 膜厚測定系統(tǒng) | 薄膜FP法,檢測線法 | 材料分析系統(tǒng) | 體積FP法 | 測定功能 | 自動(dòng)測定、中心檢索、畫像處理 | 補(bǔ)正功能 | 材料補(bǔ)正,已知樣品補(bǔ)正 | 定性功能 | KL標(biāo)記、比較顯示 | 統(tǒng)計(jì)處理功能 | 預(yù)裝Microsoft-EXCEL® | 報(bào)告制作功能 | 預(yù)裝Microsoft-WORD® | 安全機(jī)能 | 樣品門鎖定 防止樣品碰撞樣品 裝置診斷功能 | 電源 | 100V 15A |
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