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更新時(shí)間:2024-12-04 10:25:39瀏覽次數(shù):82次
聯(lián)系我時(shí),請告知來自 化工機(jī)械設(shè)備網(wǎng)Low Temperature Chillers精密冷水機(jī)
SMC chiller溫控器冰水機(jī)HRS090維修服務(wù)
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zonglen公司,針對目前市場上進(jìn)口冰水機(jī)chiller維修費(fèi)用昂貴,服務(wù)周期長。國內(nèi)生產(chǎn)廠家魚龍混雜,設(shè)備質(zhì)量差,服務(wù)不到位等現(xiàn)象,zonglen公司愿做您可靠的后盾,為您排憂解難。
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半導(dǎo)體專用溫控裝置(Chiller)主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制,主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個(gè)自我平衡的循環(huán)裝置,屬于生產(chǎn)過程中的溫控設(shè)備。在常規(guī)PID控制算法的基礎(chǔ)上加入了預(yù)測控制技術(shù)和自適應(yīng)控制技術(shù),并采用變頻控制及兩級閉環(huán)節(jié)能控制,顯著地提高了Chiller的穩(wěn)定性、控制精度和響應(yīng)速度。
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應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置,CMP(工藝機(jī)械拋光), 實(shí)驗(yàn)室精密裝置、 高精度測試儀器、醫(yī)美設(shè)備、固態(tài)激光器、模具溫控等。
半導(dǎo)體工藝冰水機(jī)Chiller
應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置,CMP (工藝機(jī)械拋光),實(shí)驗(yàn)室精密裝置、高精度測試儀器、醫(yī)美設(shè)備、固態(tài)激光器、模具溫控等。
溫控精度(空載時(shí))±0.05℃
觸摸屏操作,人機(jī)交互界面
連鎖控制、可靠性高
定時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)、液面降低、停電復(fù)位、防凍功能
溫度波動(dòng)小
占地面積小、保護(hù)裝置
快速升溫/降溫、提高生產(chǎn)效率、降低運(yùn)營成本和保障生產(chǎn)
運(yùn)行穩(wěn)定、準(zhǔn)確控溫
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