ZPT-F-Y科研氣浮隔振光學平臺
應用領域:
適合于高倍數(shù)電子顯微鏡、掃描探針顯微鏡、激光干涉儀、激光共聚焦顯微鏡等領域應用
產(chǎn)品特點:
■中航世紀公司依托于航空工業(yè)人員背景研發(fā)制造的具有負載能力強、剛性強、穩(wěn)定性高、隔振效果好的科研級氣浮隔振光學平臺。
■優(yōu)異的隔振性能:內(nèi)置精密空氣彈簧隔振系統(tǒng),具備優(yōu)秀的固有頻率,對多個方向的振動特別是垂直方向有著良好衰減效果,避免外界振動干擾設備儀器精度,提高儀器設備使用精度和使用效率。
■自動調(diào)節(jié)水平功能:放置負載的位置發(fā)生變化,平臺迅速通過高精度閥門自動調(diào)整空氣彈簧內(nèi)部的氣壓,自動保持水平。氣動元器件全部執(zhí)行德國FESTO產(chǎn)品,標配進口無油壓縮機。
■臺板采用蜂窩芯夾板結構,具有重量輕、高剛度、高阻尼等優(yōu)點,上面板為1cr17優(yōu)質(zhì)高導磁不銹鋼,經(jīng)精密研磨處理,平面度高,回旋打磨工藝清除毛邊,達到無反射、亞光效果,面板具有M6螺孔陣列,易于固定光學元件。
■隔振支撐為優(yōu)質(zhì)鋼管焊接而成,整體堅固穩(wěn)定。
■工作壓力為0.35~0.6Mpa,標準配置調(diào)壓過濾閥將保證空氣彈簧的長期有效工作,用戶只需要將氣管連接進氣口,就能使裝置正常發(fā)揮隔振功能,氣源可通過小型空氣壓縮機或氮氣瓶供給,便于在安靜場合使用。
技術指標:
■平面度:< 0.05mm/m2
■表面粗糙度:< 0.8μm
■固有頻率;x方向:1.0Hz~1.5Hz y方向:1.0Hz~1.5Hz
■減振效率:x方向<5Hz時:88%~94% y方向<5Hz時:86%~92%
x方向<10Hz時:92%~98% y方向<10Hz時:90%~95%
■振幅:< 1μm
■荷載能力:800kg/m2
■重復定位精度:±0.05mm
產(chǎn)品型號:(接受客戶任意規(guī)格定制生產(chǎn))
臺面細節(jié)圖
精密研磨處理
表面平整精度
內(nèi)核采用粘結蜂窩芯及隔離杯結構或焊接鋼制蜂窩結構(用戶可選)
裝備地點:香港理工大學生物醫(yī)學工程跨領域?qū)W部 產(chǎn)品規(guī)格:3000*1500*800mm
裝備地點:南方科技大學 產(chǎn)品規(guī)格:2500*1500*800mm