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儀器儀表

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產(chǎn)品簡介

益處測量范圍非常廣

詳細(xì)介紹

益處

測量范圍非常廣，從 5×10^-10 毫巴至大氣壓（3.8×10^-10 托至大氣壓）
10^-8 … 10^-2 毫巴過程壓力范圍內(nèi) 5% 的優(yōu)良可重復(fù)性
皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)貝阿德-阿爾珀特系統(tǒng)在高壓操作下燈絲過早燒毀和過度污染
使用壽命長的氧化釔銥絲
備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場總線接口
高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié)，減少操作員干預(yù)
RoHS 合規(guī)
低真空和超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

典型應(yīng)用

對半導(dǎo)體過程和傳輸腔室的壓力測量
工業(yè)鍍膜
低真空和超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

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