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INFICON 反磁控皮拉尼真空計

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產(chǎn)品簡介

益處復合真空計–倒置磁控管與皮拉尼測量范圍廣

詳細介紹

益處

復合真空計 – 倒置磁控管與皮拉尼
測量范圍廣，從 5 x 10^-9 毫巴到大氣壓
不會出現(xiàn)單絲燒毀的現(xiàn)象
的點火屬性
易于清潔
FPM 或金屬密封饋入裝置
高壓 LED 指示燈
對數(shù)模擬輸出信號

典型應(yīng)用

高真空壓力監(jiān)控
蒸發(fā)系統(tǒng)和濺射系統(tǒng)的基本壓力

中高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

規(guī)格

類型		MPG400 FPM sealed	MPG401 metal-sealed
測量范圍（空氣，N2）		5 x 10-9 … 1000	5 x 10-9 … 1000
精度 (N2)
1 x 10-8 … 100 毫巴	% of reading	≈±30%	≈±30%
可重復性
1 x 10-8 … 100 毫巴	% of reading	≈±5%	≈±5%
安裝定位		any	any
容許壓力	bar (absolute)	≤10 (limited to inert gases)	≤10 (limited to inert gases)
容許溫度
運行（環(huán)境）	°C	+5 … +55	+5 … +55
貯存	°C	–40 … +65	–40 … +65
烘烤 (1)	°C	150	150
單絲溫度（皮拉尼）	°C	120	120
電源電壓
真空計上	V (dc)	+15 … +30	+15 … +30
纜線更長的電源裝置 (2)	V (dc)	+16 … +30	+16 … +30
波紋	V (p-p)	≤1	≤1
功耗	W	≤2	≤2
可連接的保險絲	AT	≤1	≤1
輸出信號（測量信號）
電壓范圍	V	0 … +10.5	0 … +10.5
測量范圍	V	+1.82 … +8.6	+1.82 … +8.6
電壓與壓強		logarithmic, 0.6 volts per decade	logarithmic, 0.6 volts per decade
錯誤信號
無電源	V	<0.5	<0.5
皮拉尼傳感器，單絲斷裂	V	>9.5	>9.5
輸出電阻	Ω	2 x 10	2 x 10
更小負載電阻	kΩ	10, short-circuit proof	10, short-circuit proof
反應(yīng)時間
p > 10-6 毫巴	ms	<10	<10
p = 10-8 毫巴	ms	≈1000	≈1000
識別真空計		85, referenced to supply common	85, referenced to supply common
狀態(tài)
僅皮拉尼模式	V	0 (low)	0 (low)
復合皮拉尼 / 冷陰極模式	V	15 … 30 (high)	15 … 30 (high)
LED	LED green	high voltage on	high voltage on
電氣連接		FCC 68 appliance connector, 8 poles, female	FCC 68 appliance connector, 8 poles, female
傳感器電纜		8 poles plus shielding	8 poles plus shielding
電纜長度	m	≤50 (8 x 0.14 mm2)	≤50 (8 x 0.14 mm2)
運行電壓	kV	≤3.3	≤3.3
運行電流	μA	≤500	≤500
暴露于真空的材料		stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W	stainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W
內(nèi)部容積	cm3	≈20	≈20
重量
DN 25 ISO-KF	g	≈700	≈730
DN 40 ISO-KF	g	≈720	≈750
DN 40 CF-F	g	≈980	≈1010
保護類別		IP 40	IP 40
標準
CE 合規(guī)		EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1	EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

1) 沒有電子和磁遮蔽。

2) 必須根據(jù)傳感器電纜的長度按比例增加電源的**低電壓。

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