Inficon BPG400 大氣壓至超高真空真空計
廣泛測量從超高真空到大氣壓的復合規(guī)管技術
INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼(Pirani)BPG400型復合真空計將兩種真空計的功能融合到一個緊湊的裝置中,測量范圍從 5×10-10 毫巴至大氣壓(3.8×10-10 托至大氣壓)。
益處
- 測量范圍非常廣,從 5×10-10 毫巴至大氣壓(3.8×10-10 托至大氣壓)
- 10-8 … 10-2 毫巴過程壓力范圍內 5% 的優(yōu)良可重復性
- 皮拉尼聯(lián)鎖保護貝阿德-阿爾珀特系統(tǒng)在高壓操作下單絲過早燒毀和過度污染
- 使用壽命長的氧化釔銥絲
- 備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場總線接口
- 高真空皮拉尼自動調節(jié),減少操作員干預
- RoHS 合規(guī)
- 低真空和超高真空范圍內的一般真空測量和控制
典型應用
- 對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量
- 工業(yè)鍍膜
- 低真空和超高真空范圍內的一般真空測量和控制
零件號明細353-500BPG400 規(guī)管353-500-11BPG400 BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF353-500-I0BPG400規(guī)管353-502-ABPG400規(guī)管354-498Spare electronic BPG400 without Display354-499Spare electronic BPG400 with Display353-501BPG400 規(guī)管353-502BPG400 規(guī)管353-503BPG400 BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R353-505復合真空規(guī)353-506BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R353-507BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN25ISO-KF353-508BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R