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BAG402 中到超高真空真空計(jì)

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詳細(xì)介紹

好處

測(cè)量范圍從 5×10^-10 mbar 至 2.7×10^{-2^{mbar（3.75×10^{-10^{Torr 至 5×10^{-2^Torr）}}}}}
在 10^-8 … 10^-2 mbar 5% 工藝壓力范圍內(nèi)為表現(xiàn)出優(yōu)秀的重復(fù)性
超壓檢測(cè)保護(hù)絲極，防止過早燒毀
雙長使用壽命氧化釔銥絲
自動(dòng)發(fā)射電流選擇降低了控制復(fù)雜性
傳感元件帶有板載校準(zhǔn)數(shù)據(jù)，易于更換，可保證高再現(xiàn)性
符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

典型應(yīng)用

對(duì)半導(dǎo)體過程和傳輸腔室的壓力測(cè)量
工業(yè)鍍膜
低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制

規(guī)格

類型		BAG402
測(cè)量范圍 (空氣, 氧₂, 一氧化碳, 氮₂)		5×10^-10 … 2.7×10^-2
精度
10^-8 … 10^-2 毫巴	% of reading	±15
重復(fù)性
10^-8 … 10^-2 毫巴	% of reading	5
除氣 (1)
p < 7.2="" ×="">^-6	mbar	electron bombardment, max. 3 min
壓強(qiáng),	bar (absolute)	2
溫度
操作 (環(huán)境)	°C	0 … +50
儲(chǔ)存	°C	-20 … +70
法蘭口的烘烤，不帶BPG402-S電子單元	°C	80
供電電壓		+20 … +28
輸出信號(hào)模擬 (4)
輸出信號(hào)	V	0 … +10
測(cè)量范圍 log / lin	V	0 … +9
電壓 vs. 壓強(qiáng)	volts per decade	1
錯(cuò)誤信號(hào)	V	> +10
負(fù)載阻抗, 最小	k?	10
第二模擬輸出		none
設(shè)點(diǎn)繼電器
設(shè)定點(diǎn)數(shù)量		none
范圍
繼電器觸點(diǎn)
滯后
觸點(diǎn)額定值
數(shù)字功能		degas and emission
接口 (數(shù)字) (2)		Diagnosis port
發(fā)射控制		manual
燈絲		two Yttriumoxid (Y₂O₃) coated Iridium (Ir)
燈絲狀態(tài) / 繼電器		LED / relay
電氣連接		D-Sub, 9-pin, male
電纜長度，值	m (ft.)	100 (330)
暴露于真空中的材料		Y₂O₃, Ir, Pt, Mo, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
內(nèi)部容積 KF / CF	cm³ (in.³)	24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF	g	450 / 710
保護(hù)級(jí)別		IP30

1）除氣期間準(zhǔn)確性降低

2）不可同時(shí)使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器和現(xiàn)場(chǎng)總線

零件號(hào)

BAG402
零件號(hào)	明細(xì)
353-600	BAG402 DSUB9 KF25
353-601	BAG402 DSUB9 CF40

附件

BAG402
零件號(hào)	明細(xì)

303-333	Diagnostic cable 1.9m (P3)

備件

BAG402
零件號(hào)	明細(xì)
354-484	備用傳感器 BAG402 DN 25 ISO-KF
354-485	備用傳感器 BAG402 DN 40 CF-R

數(shù)據(jù)表

手冊(cè)

三維步驟文件

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