定制化共聚焦系統(tǒng)技術(shù)參數(shù) LED光源:λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h 測量時(shí)間:2~10秒 測量原理:非接觸、共聚焦 X/Y方向:平臺移動范圍:100mmX100mm/200mmX200mm/300mmX300mm(大小可選),馬達(dá)驅(qū)動,X/Y方向分辨率:0.3μm Z方向測量范圍:350μm,Z方向分辨率:< 1nm 物鏡:10X、20X、50X、100X(可選) 離軸攝像頭(10X),zui大視野8 x 6 mm2(選配) 計(jì)算機(jī):高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng),功能強(qiáng)大且全面的軟件,有拼接功能 配有專業(yè)工作臺:尺寸1550x800x750 mm (LxH) 工作電源:100-240V, 50-60Hz,input: 550 VA 材質(zhì):鋼鐵、橡膠、大理石 重量:約150KG+80KG 潔凈室等級: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)