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詳細(xì)介紹
Temptronic ThermoChuck
上海伯東美國 inTEST 旗下 Temptronic ThermoChuck 系統(tǒng)利用導(dǎo)電加熱和冷卻系統(tǒng)，搭配晶圓探針臺(tái)共同使用，提供 -65 至 +300°C 高低溫環(huán)境，適用晶圓 150 mm、200 mm、300 mm ，可用于激光微調(diào) Laser Trim 和晶圓老化 Burn-in 測試，例如低泄漏探測(fA)和高電壓探測(10 kv)，適用于晶圓、芯片在電高低溫環(huán)境下的特性描述、失效分析等。Temptronic ThermoChuck 適合各種廠牌晶圓探針臺(tái)，
一、晶圓尺寸：150 和 200 mm
ThermoChuck 型號(hào) | 溫度范圍°C | 冷卻 | 加熱 |
TP03000A | -65 to +200°C | Mechanical refrigeration, closed loop liquid cooling | 熱電 |
TP03010A | +20 to +200°C | 風(fēng)冷/水冷* | 熱電 |
TP03010B | 0 to +200°C | Closed loop glycol/water cooling | 熱電 |
TP03015A | +30 to +200°C (+300oC optional) | 風(fēng)冷/水冷* | 電阻 |
TP03015B | +30 to +200°C (+300°C optional) | Closed loop glycol/水冷 | 電阻 |
電壓 115V或 220V
* 用戶提供冷卻介質(zhì)
二、晶圓尺寸：300 mm
ThermoChuck 型號(hào) | 溫度范圍°C | 冷卻 | 加熱 |
TP03500A | -55 to +200 | Mechanical refrigeration, closed loop liquid cooling | 電阻 |
TP03500D | +20 to +200 | Open loop air cooling with Vortex* | 電阻 |
TP03500E | +30 to +200 | Open loop air cooling* | 電阻 |
電壓 220V
* 用戶提供冷卻介質(zhì)
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上海伯東: 羅先生 中國臺(tái)灣伯東: 王小姐
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