詳細(xì)介紹
132 3531 3002退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設(shè)計的。可以加熱晶片以激活摻雜劑,將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長的薄膜的狀態(tài),修復(fù)注入的損傷,移動摻雜劑或?qū)诫s劑從一個薄膜轉(zhuǎn)移到另一個薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。
熱處理爐分為退火爐、淬火爐、回火爐、正火爐、調(diào)質(zhì)爐,主要用于大型碳鋼、合金鋼零件的退火;表面淬火件回火;焊件消除應(yīng)力退火、時效等熱處理工藝。加熱方式有電加熱、燃油、燃?xì)?、燃煤、熱風(fēng)循環(huán)。退火爐是一種新型換熱設(shè)備。退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐,超節(jié)能結(jié)構(gòu),采用纖維結(jié)構(gòu),節(jié)電60%。
【技術(shù)參數(shù)】
產(chǎn)品名稱 | 陶瓷纖維模塊 | ||||
分類溫度 ℃ | 1050 | 1260 | 1430 | ||
產(chǎn)品代碼 | SYGW-189 | SYGW-289 | SYGW-389 | SYGW-489 | SYGW-589 |
加熱永*線變化(%) | 950℃×24h≦-3 | 1000℃×24h≦-3 | 1100℃×24h≦-3 | 1200℃×24h≦-3 | 1350℃×24h≦-3 |
理論體積密度 (Kg/m3) | 200±10;220±10;240±10;260±10 |
產(chǎn)品規(guī)格(mm) | 300×300×250或定制 |
包裝形式 | 紙箱/編織袋 |
陶瓷纖維模塊選擇濟(jì)南盛陽的理由:
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7、濟(jì)南盛陽原料產(chǎn)地直供,產(chǎn)品性價比高售后服務(wù)完善周到產(chǎn)品遍布全國各地。