詳細(xì)介紹
1.旋轉(zhuǎn)勻膠機(jī) 型號(hào):HAD-A280
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:HAD-A280高性能勻膠機(jī)旋涂?jī)x
主要用于液體,膠體在材料表面形成薄膜。
HAD-A280高性能勻膠機(jī)旋涂?jī)x 適用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷,不銹鋼,金屬等制版表面涂覆工藝。
HAD-A280高性能勻膠機(jī)旋涂?jī)x 可在科研,教育,生產(chǎn)中應(yīng)用。
"spin coater " 行業(yè)稱:勻膠機(jī) 勻膠臺(tái) 甩膠機(jī)、旋涂?jī)x 旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī) 旋涂機(jī)
旋轉(zhuǎn)勻膠機(jī)
產(chǎn)品型號(hào):
HAD-A280勻膠機(jī)
HAD-A280勻膠機(jī): 工作腔內(nèi)徑D290mm 適合直徑D10mm-280mm園片及 200mmX200mm方形片。
主要特點(diǎn):
*HAD-A280高性能勻膠機(jī)旋涂?jī)x 高精度26程序控制器:
可設(shè)定存儲(chǔ)26個(gè)不同樣片的旋轉(zhuǎn)涂敷工藝過(guò)程;
每個(gè)涂敷工藝過(guò)程可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài);
加速度(及負(fù)加速度),可設(shè)置。
中英文兩套操作系統(tǒng)供選擇。
操作系統(tǒng)內(nèi)駐留涂敷工藝過(guò)程模板程序,方便快速調(diào)試并存儲(chǔ)程序。
設(shè)置程序:標(biāo)準(zhǔn)通用符號(hào),6鍵操作,人機(jī)交互式對(duì)話,提示操作。
無(wú)需培訓(xùn),上手就會(huì)操作。
*HAD-A280高性能勻膠機(jī)旋涂?jī)x 可連接滴膠機(jī),自動(dòng)控制在必要的瞬間滴膠,自動(dòng)控制重復(fù)定量滴膠。
精準(zhǔn)的重復(fù)的自動(dòng)控制操作,是人工不可能及的。
*HAD-A280高性能勻膠機(jī)旋涂?jī)x 工作腔可氮?dú)獗Wo(hù)。
我們?cè)O(shè)備通過(guò)有效的惰性氣體保護(hù)機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì),對(duì)所有的環(huán)境變量(溫度,濕度,潔凈度)有效控制,
這一點(diǎn)*針對(duì)科研實(shí)驗(yàn)的苛刻要求而開(kāi)發(fā)。
*HAD-A280高性能勻膠機(jī)旋涂?jī)x 真空吸片,爪卡機(jī)構(gòu)。2種工作狀態(tài)隨意選擇。 爪卡機(jī)構(gòu)工作狀態(tài)無(wú)需真空泵。方便有空隙的材料及厚重材料涂膠。
*HAD-A280高性能勻膠機(jī)旋涂?jī)x 中心結(jié)構(gòu)定位:圓形基片使用工具完成中心定位。方便快捷,定位精度高。
主機(jī)標(biāo)準(zhǔn)配備一片真空吸盤(pán)即可滿足(HAD-A280適用3英寸-11英寸基片);(TA-360適用3英寸-14英寸基片)。
小于3英寸可使用定制真空吸盤(pán)。
*HAD-A280高性能勻膠機(jī)旋涂?jī)x 卡盤(pán),吸盤(pán)品種豐富,適應(yīng)各種需要。
*HAD-A280高性能勻膠機(jī)旋涂?jī)x 真空吸片系統(tǒng)更安全:
安裝有真空度傳感器,涂敷工作過(guò)程電腦實(shí)時(shí)檢測(cè)系統(tǒng)真空度,必須在安全的真空度下,
電機(jī)啟動(dòng),運(yùn)行。保障可靠吸片,不飛片。運(yùn)行中失去真空,系統(tǒng)保護(hù)性停機(jī)。
*HAD-A280高性能勻膠機(jī)旋涂?jī)x 伺服電機(jī),轉(zhuǎn)速精度更高:300 - 10000 轉(zhuǎn)/分,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性:+ - 0.1 % 高轉(zhuǎn)速10000轉(zhuǎn)/分
*HAD-A280高性能勻膠機(jī)旋涂?jī)x 設(shè)備所用的天然聚丙烯(NPP)材質(zhì),食品級(jí)衛(wèi)生材料,易清潔,材質(zhì)性能穩(wěn)定,綠色環(huán)保型實(shí)驗(yàn)室的較佳選擇。
技術(shù)參數(shù):
單相交流電源:220V.50Hz
電機(jī)功率:200W
轉(zhuǎn)數(shù):300 - 10000 轉(zhuǎn)/分。
可設(shè)定時(shí)間:1---9999秒。
標(biāo)準(zhǔn)包裝:尺寸: 490mm寬 x 380mm深 x 310 mm高
中心定位
利用中心定位板,將基片在機(jī)器轉(zhuǎn)軸中心定位。
中心定位板的孔位可以完成4,6,8,10英寸基片定位。完成勻膠。
2.真空旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)型號(hào):HAD-B616
產(chǎn)品型號(hào):HAD-B616高精度勻膠機(jī)旋涂?jī)x
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:主要用于液體,膠體在材料表面薄膜的形成,適用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷等制版表面涂覆工藝。可在科研,教育,生產(chǎn)中應(yīng)用。
主要特點(diǎn):
HAD-B616高精度勻膠機(jī)旋涂?jī)x高精度多程序控制器:
HAD-B616高精度勻膠機(jī)旋涂?jī)x 可設(shè)定存儲(chǔ)7個(gè)不同樣片的旋轉(zhuǎn)涂敷工藝過(guò)程。
HAD-B616高精度勻膠機(jī)旋涂?jī)x 每個(gè)涂敷工藝過(guò)程可以設(shè)置25步不同的速度狀態(tài);
HAD-B616高精度勻膠機(jī)旋涂?jī)x 液晶顯示屏可以實(shí)時(shí)顯示:
1. 第N個(gè)涂敷工藝過(guò)程
2. 所處工作段
3. 真空吸片狀態(tài)。
4. 設(shè)置時(shí)間;及實(shí)時(shí)運(yùn)行時(shí)間。
5. 設(shè)置速度;及實(shí)時(shí)速度狀態(tài)。
中英文兩套操作系統(tǒng)供選擇。
人機(jī)交互式對(duì)話,簡(jiǎn)潔,明了
*HAD-B616高精度勻膠機(jī)旋涂?jī)x器空吸片系統(tǒng)更安全:
HAD-B616高精度勻膠機(jī)旋涂?jī)x安裝有真空度傳感器,涂敷工作過(guò)程電腦實(shí)時(shí)檢測(cè)系統(tǒng)真空度,
必須在安全的真空度下,電機(jī)啟動(dòng),運(yùn)行。保障可靠吸片,不飛片。
*HAD-B616高精度勻膠機(jī)旋涂?jī)x 變頻調(diào)速電機(jī),轉(zhuǎn)速精度更高:
300 - 10000 轉(zhuǎn)/分,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性:+ - 0.1 %
高轉(zhuǎn)速10000轉(zhuǎn)/分
*HAD-B616高精度勻膠機(jī)旋涂?jī)x 不銹鋼機(jī)殼 NPP材質(zhì)工作腔
不銹鋼機(jī)殼,外表面潔凈光亮。美觀,方便清洗。
HAD-B616高精度勻膠機(jī)旋涂?jī)x NPP材質(zhì)工作腔。
技術(shù)參數(shù):
HAD-B616高精度勻膠機(jī)旋涂?jī)x 單相交流電源:220V.50Hz
HAD-B616高精度勻膠機(jī)旋涂?jī)x 電機(jī)功率:150W
HAD-B616高精度勻膠機(jī)旋涂?jī)x 旋轉(zhuǎn)真空吸盤(pán)直徑:4英寸(102mm,標(biāo)準(zhǔn)配置)
可選擇配置: 基片直徑10—150mm可接受訂貨。
轉(zhuǎn)數(shù):300 - 10000 轉(zhuǎn)/分。
可設(shè)定時(shí)間:1---9999秒。
標(biāo)準(zhǔn)包裝:
結(jié)構(gòu)尺寸: 260mm寬 x 350mm深 x 260 mm高 ,
可選配件 1、60升/分有油真空泵
2、特殊真空吸盤(pán)
3、70升/分無(wú)油真空泵
無(wú)油真空泵
特點(diǎn) :無(wú)需任何潤(rùn)滑油,可長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)使用,采用單項(xiàng)電源。
技術(shù)參數(shù)
極限真空:-0.098MPa
抽氣效率 60 (L/min)
功率 0.45(kw)
電壓 220V/50Hz(Hz/v)
3.勻膠機(jī) 型號(hào):HAKW-5
產(chǎn)品主要特點(diǎn):
1、開(kāi)關(guān)電流調(diào)速,穩(wěn)定性能更好,轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)以數(shù)字顯示為準(zhǔn)。
2、轉(zhuǎn)速在500~8000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定。
3、采用雙轉(zhuǎn)速。在啟動(dòng)之后,先以低速運(yùn)轉(zhuǎn),使膠攤開(kāi),然后自動(dòng)轉(zhuǎn)換到高速運(yùn)轉(zhuǎn)。兩種轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時(shí)間分別可調(diào),時(shí)間分別控制在1~18秒和3秒~1分鐘。
4、具有定時(shí)功能。
5、測(cè)速采用光電的辦法,產(chǎn)生光電脈沖,由晶體分頻測(cè)速準(zhǔn)確性高。
6、”吸片”采用電磁閥控制氣路,一個(gè)氣泵可同時(shí)帶幾臺(tái)勻膠機(jī)工作,適合流水線的工藝,提高了效率。
7、在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減振措施,保證了在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音低。
1、調(diào)速范圍和勻膠時(shí)間
Ⅰ檔 調(diào)速范圍:500-1000轉(zhuǎn)/分 Ⅰ檔 勻膠時(shí)間:2-18秒
Ⅱ檔 調(diào)速范圍:1000-5000轉(zhuǎn)/分 Ⅱ檔 勻膠時(shí)間:3-60秒
2、適用:Φ100-Φ200mm(4”~8”)硅片及其它材料等勻膠。
3、LED數(shù)字顯示,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度:±1%,膠的均勻性:±5%。
4、電機(jī)功率:180W,三相380V供電
5、真空泵抽氣速率60升/分
6、設(shè)備尺寸:500×500×460mm
4.旋涂?jī)x 型號(hào);HAKW-4A
生產(chǎn)的HAKW型勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動(dòng)迅速等優(yōu)點(diǎn),并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的*性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號(hào)有HAKW-4A型和HAKW-5型。
產(chǎn)品主要特點(diǎn):
1、開(kāi)關(guān)電流調(diào)速,穩(wěn)定性能更好,轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)以數(shù)字顯示為準(zhǔn)。
2、轉(zhuǎn)速在500~8000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定。
3、采用雙轉(zhuǎn)速。在啟動(dòng)之后,先以低速運(yùn)轉(zhuǎn),使膠攤開(kāi),然后自動(dòng)轉(zhuǎn)換到高速運(yùn)轉(zhuǎn)。兩種轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時(shí)間分別可調(diào),時(shí)間分別控制在1~18秒和3秒~1分鐘。
4、具有定時(shí)功能。
5、測(cè)速采用光電的辦法,產(chǎn)生光電脈沖,由晶體分頻測(cè)速準(zhǔn)確性高。
6、"吸片"采用電磁閥控制氣路,一個(gè)氣泵可同時(shí)帶幾臺(tái)勻膠機(jī)工作,適合流水線的工藝,提高了效率。
7、在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減振措施,保證了在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音低。
性能指標(biāo):
HAKW-4A型勻膠機(jī)
1、調(diào)速范圍和勻膠時(shí)間
Ⅰ檔 調(diào)速范圍:500-2000轉(zhuǎn)/分 Ⅰ檔 勻膠時(shí)間:2-18秒
Ⅱ檔 調(diào)速范圍:1300-8000轉(zhuǎn)/分 ?、驒n 勻膠時(shí)間:3-60秒
2、適用:Φ5-Φ100mm硅片及其它材料等勻膠。
3、LED數(shù)字顯示,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度:±1%,膠的均勻性:±3%?!?/span>
4、電機(jī)功率:40W
5、真空泵抽氣速率≥60升/分
6、體積小,重量輕,操作簡(jiǎn)便
儀器尺寸:210×220×160mm
5.旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)型號(hào):HAC-218
產(chǎn)品型號(hào):HAC-218勻膠機(jī)旋涂?jī)x
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:主要用于液體,膠體的成膜性能試驗(yàn),表面涂覆工藝。
行業(yè)稱:勻膠機(jī) 勻膠臺(tái) 甩膠機(jī)、旋涂?jī)x 旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī) 旋涂機(jī)
主要特點(diǎn):
*HAC-218勻膠機(jī)旋涂?jī)x 電腦(單片機(jī))控制,可預(yù)置并記憶轉(zhuǎn)速,控制轉(zhuǎn)盤(pán)均勻加速;
2段式工作方式
3位數(shù)碼顯示轉(zhuǎn)速300-8000轉(zhuǎn)/分。可預(yù)置,也可隨時(shí)調(diào)整。
3位數(shù)碼顯示時(shí)間(1-999秒)。
旋轉(zhuǎn)時(shí)間預(yù)置,到時(shí),控制轉(zhuǎn)盤(pán)均勻減速。
*HAC-218勻膠機(jī)旋涂?jī)x 轉(zhuǎn)速: 100轉(zhuǎn)/步 (調(diào)整 );
時(shí)間:1秒/步(調(diào)整).
*HAC-218勻膠機(jī)旋涂?jī)x 電腦閉環(huán)控制電機(jī),轉(zhuǎn)速精確±0.5轉(zhuǎn)/分.方便實(shí)驗(yàn)效果重現(xiàn).
* 機(jī)械三爪式裝夾。裝夾可靠,可任意裝夾¢50—100mm片。
* 機(jī)械四爪式裝夾??煽垦b夾方形,矩形片,(可選購(gòu)件)
*HAC-218勻膠機(jī)旋涂?jī)x 機(jī)械微型夾板裝夾,
可以裝夾微小的圓形,方形,矩形,六角形,等異形薄片。(可選購(gòu)件)
* HAC-218勻膠機(jī)旋涂?jī)x 排除了因真空吸附不牢,造成飛片的可能。
* 去除了真空泵,節(jié)約了您的金錢(qián),減少了環(huán)境噪聲。
*HAC-218勻膠機(jī)旋涂?jī)x 工作腔:NPP材質(zhì)
NPP的化學(xué)穩(wěn)定性優(yōu)異,對(duì)大多數(shù)酸、堿、鹽、氧化劑都顯 惰 性。
例如在100℃的濃磷酸、鹽酸、40%硫酸及其它們的鹽類(lèi)溶液中都是穩(wěn)定的。,
*工作腔可拆卸,方便清洗.
*工作腔上蓋透明, 方便觀察成膜過(guò)程。
* 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)無(wú)皮帶,無(wú)碳刷, 沒(méi)有因常時(shí)間遠(yuǎn)行而需要更換的易損件。
其明顯效果是:機(jī)械噪音低,滿足實(shí)驗(yàn)室要求.運(yùn)行平穩(wěn)。
在此我們遵循了機(jī)械設(shè)計(jì)中,等壽命設(shè)計(jì)理論。
保障了用戶可以放心使用。
* HAC-218勻膠機(jī)旋涂?jī)x 透明工作腔密閉涂層實(shí)驗(yàn),無(wú)液體、膠狀體飛濺,工作環(huán)境衛(wèi)生,安全。
*HAC-218勻膠機(jī)旋涂?jī)x 機(jī)箱,不銹鋼機(jī)殼,外表面潔凈光亮。美觀,方便清洗。
技術(shù)參數(shù):
SpeedⅠ :調(diào)速范圍300-8000轉(zhuǎn)/分,TimerⅠ勻膠時(shí)間 1-999秒;
SpeedⅡ :轉(zhuǎn)速范圍300-8000轉(zhuǎn)/分,TimerⅡ勻膠時(shí)間 1-999秒;
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度±1%;電源電壓220V/50Hz,
電機(jī)功率80W,
旋轉(zhuǎn)盤(pán)直徑:120mm??扇我庋b夾¢50—100mm片
標(biāo)準(zhǔn)包裝:尺寸: 260mm寬 x 350mm深 x 260 mm高 , 重量: 9 kg
產(chǎn)品用途:將液體、膠狀體等材料在襯底上成膜
溫馨提示:以上產(chǎn)品資料和圖片全都是按照順序相對(duì)應(yīng)的