詳細(xì)介紹
PTL270濺射薄膜壓力傳感器
PTL270濺射薄膜壓力傳感器本產(chǎn)品廣泛用于石油、化工、污水處理、恒壓供水、環(huán)保、機械、冶金、電力、*等領(lǐng)域進(jìn)行表壓,絕壓的測量,也可測負(fù)壓,并適用于各種場合全天候環(huán)境及各種液體、氣體、蒸汽壓力的測量與控制。
產(chǎn)品優(yōu)點:
適于大批量生產(chǎn)、成本低、輸出大、適于微壓、低壓品種;產(chǎn)品缺點:
1,由于它的敏感電阻是由半導(dǎo)體硅擴散而成,因此它的電阻溫度系數(shù)極差,當(dāng)溫度超過85℃溫度補償非常困難,低于-45℃時擴散硅的電阻率變化及大且無規(guī)律,無法滿足環(huán)境耐溫要求;
2,由于半導(dǎo)體硅的易脆性以及采用隔離膜充硅油封裝的原因,產(chǎn)品不能抗高強度的震動和沖擊,頻率響應(yīng)也較低。
而濺射薄膜式壓力傳感器一大突出特點是受溫度影響小。在溫度變化100℃時,零點漂移僅為0.5%。其溫度性能遠(yuǎn)優(yōu)于擴散硅式壓力傳感器。所以濺射薄膜式壓力傳感器將逐步取代擴散硅式壓力傳感器。
濺射膜壓力傳感器的典型結(jié)構(gòu)示意圖如,產(chǎn)品由基座、彈性敏感元件(芯體)、引線支架、真空密封連接器、信號處理電路和電器連接器等組成。
濺射膜壓力傳感器芯體的原理,流體壓力P作用在不銹鋼彈性膜片上,使膜片產(chǎn)生變形﹐采用離子束濺射和刻蝕技術(shù)在膜片上制作了組成電橋的薄膜電阻,膜片變形使電阻阻值發(fā)生變化,電橋輸出與壓力成比例的電信號。通過電路對電橋輸出的信號進(jìn)行放大、處理、誤差數(shù)字化修正,再變換成標(biāo)準(zhǔn)電信號輸出。