化工機械設(shè)備網(wǎng)
詳細介紹
碳材料熱工裝備 *立式化學氣相沉積爐（碳化硅）|ACME頂立科技 技術(shù)特征
采用*的控制技術(shù)，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動范圍小；
采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室，密封效果好，抗污染能力強；
采用多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；
對沉積產(chǎn)生的高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產(chǎn)物能進行有效處理；
采用設(shè)計防腐蝕真空機組，持續(xù)工作時間長，維修率極低。
碳材料熱工裝備 *立式化學氣相沉積爐（碳化硅）|ACME頂立科技 主要配置
爐門：絲杠升降/液壓升降/手動升降；手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊
爐殼：全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
爐膽：軟碳氈/軟石墨氈/硬質(zhì)復(fù)合氈/CFC
加熱器、馬弗：等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨
工藝氣路系統(tǒng)：體積/質(zhì)量流量計；手動閥/自動閥；進口/國產(chǎn)
真空泵和真空計：進口/國產(chǎn)
PLC：歐姆龍/西門子
控溫儀表：日本島電/英國歐陸
熱電偶：C分度號/S分度號/K分度號/B分度號
記錄儀：無紙記錄儀/有紙記錄儀；進口/國產(chǎn)
人機界面：模擬屏/觸摸屏/工控機
電器元件：正泰/施耐德/西門子
產(chǎn)品規(guī)格
參數(shù)型號 | VCVD-0305-SIC | VCVD-0608- SIC | VCVD-0812- SIC | VCVD-1015- SIC | VCVD-1120- SIC | VCVD-1520- SIC |
工作區(qū)尺寸D×H（mm） | Φ300×500 | Φ600×800 | Φ800×1200 | Φ1000×1500 | Φ1100×2000 | Φ1500×2000 |
zui高溫度（℃） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
溫度均勻性（℃） | ±5 | ±5 | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 |
極限真空度（Pa） | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
壓升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
以上立式化學氣相沉積爐（碳化硅）參數(shù)可根據(jù)工藝要求進行調(diào)整，不作為驗收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準。 | ||||||
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