碳材料熱工裝備 *立式化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭）|ACME頂立科技

碳材料熱工裝備 *立式化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭）|ACME頂立科技 技術(shù)特征

根據(jù)爐膛尺寸與結(jié)構(gòu)設(shè)置溫區(qū)，溫度均勻性好；
采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；
采用多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；
對炭沉積過程中產(chǎn)生的焦油、固體粉塵、有機(jī)氣體等能進(jìn)行有效的處理。

碳材料熱工裝備 *立式化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭）|ACME頂立科技 主要配置

爐門：絲杠升降/液壓升降/手動升降；手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊      
爐殼：全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
爐膽：軟碳?xì)?軟石墨氈/硬質(zhì)復(fù)合氈/CFC  
加熱器、馬弗：等靜壓石墨/模壓三高石墨/細(xì)顆粒石墨
工藝氣路系統(tǒng)：體積/質(zhì)量流量計；手動閥/自動閥；進(jìn)口/國產(chǎn)     
真空泵和真空計：進(jìn)口/國產(chǎn)
人機(jī)界面：模擬屏/觸摸屏/工控機(jī)                         
PLC：歐姆龍/西門子
控溫儀表：日本島電/英國歐陸           
熱電偶：C分度號/S分度號/K分度號/N分度號
記錄儀：無紙記錄儀/有紙記錄儀；進(jìn)口/國產(chǎn)   
電器元件：正泰/施耐德/西門子

產(chǎn)品規(guī)格

以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。

：（羊）