等離子發(fā)射色譜儀分析空分特種氣、電子氣

等離子發(fā)射色譜儀分析空分特種氣、電子氣

GC-9280等離子發(fā)射色譜儀配備超高靈敏度的等離子發(fā)射檢測(cè)器，當(dāng)氣體樣品通過石英管時(shí)被高壓發(fā)生器電離，產(chǎn)生光信號(hào)，濾光片會(huì)根據(jù)波長(zhǎng)選擇性地濾出光信號(hào)，并通過光電二極管轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，經(jīng)信號(hào)電壓發(fā)大器將信號(hào)放大到分析所需的程度，滿足檢測(cè)ppt 到 百分比的檢測(cè)范圍。

• 典型分析

空分(ASU)行業(yè)

• 高純O2、N2、Ar中雜質(zhì)（H2/O2/N2/Ar/CH4/CO/CO2）分析；

• 液O2、液Air及空分吸風(fēng)口中危險(xiǎn)物質(zhì)(C2H2、N2O、THC、C1-C4)分析；

• 稀有氣體He、Ne、Kr、Xe中雜質(zhì)(N2/O2+Ar/H2/CO/CO2/CH4/Kr/Xe/N2O/C2F6/CF4/SF6)分析。

特種氣、電子氣行業(yè)

• 特氣中雜質(zhì)(H2/N2/O2+Ar/CO/CO2/CH4）分析；

• 腐蝕性氣體：Cl2、HCl、HBr、NH3、SiH4 、SiHCl3、SiH2Cl2、AsH3、PH3、GeH4、BF3、BCl3、NF3、WF6、HF、F2等雜質(zhì)分析；

• 鹵化物：C3F8、C4F8、SF6、CF4、C2F6、CHI2CI3、CH2CHCl、SiCl4等雜質(zhì)分析；

• CO2、NH3、H2等雜質(zhì)分析。

• 等離子發(fā)射檢測(cè)器（PED）工作原理

• 等離子發(fā)射檢測(cè)器是一個(gè)靈敏度*的通用型檢測(cè)器，其內(nèi)部有一個(gè)設(shè)計(jì)*的，加載高頻高壓電場(chǎng)的石英腔體。當(dāng)氣體樣品通過石英腔體時(shí)被高壓發(fā)生器電離，產(chǎn)生一種叫做場(chǎng)致發(fā)光的熒光現(xiàn)象并發(fā)射出特征譜線，發(fā)射譜線隨著載氣中不同物質(zhì)而發(fā)生變化，用這種光發(fā)射技術(shù)來對(duì)樣品進(jìn)行定量分析。

• 檢測(cè)器產(chǎn)生的光信號(hào)被光學(xué)系統(tǒng)檢測(cè)到，光學(xué)系統(tǒng)包括濾光片和光電二極管，濾光片會(huì)根據(jù)波長(zhǎng)選擇性地濾出光信號(hào)，并通過光電二極管轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，經(jīng)信號(hào)電壓發(fā)大器將信號(hào)放大到分析所需的程度。

• 等離子發(fā)射檢測(cè)器（PED）檢測(cè)限：