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當(dāng)前位置:鑫有研電子科技(北京)有限公司>> KW-4A勻膠機(jī)
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更新時間:2018-05-07 04:28:08瀏覽次數(shù):213次
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勻膠機(jī)(英文名:Spin Coater)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜
詳細(xì)介紹: 勻膠機(jī)(英文名:Spin Coater)
行業(yè)俗稱:勻膠臺,甩膠機(jī),涂膠機(jī),鍍膜機(jī),涂層機(jī)
品牌
SIYOUYEN
型號
KW-4A型 (*技術(shù)標(biāo)準(zhǔn))
產(chǎn)品概述:
KW型勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體,硅片,晶片,基片,導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆.
勻膠機(jī)穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動,可以保證半導(dǎo)體中膠厚度的*性和均勻性,這正是KW型均勻膠機(jī)的特點.
該機(jī)在這方面采取了許多措施:
(一)該設(shè)備采用美國*技術(shù).
(二)定子和轉(zhuǎn)子分開供電.定子用穩(wěn)定電源供勵磁電流,轉(zhuǎn)子用開關(guān)電源調(diào)速,它比可用控硅調(diào)速*得多,轉(zhuǎn)速在1000~8000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定.
(三)本勻膠機(jī)有兩個轉(zhuǎn)速.在啟動之后,先以低速運(yùn)轉(zhuǎn),使膠攤開,然后自動變到高速運(yùn)轉(zhuǎn).兩種轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時間分別可調(diào).
(四)本勻膠機(jī)測速采用光電的辦法,在光電測速盤的邊上有三個缺口,(反射帶和吸收帶)分布于盤的周圍,盤邊的下面安裝有光電開關(guān),光源照到光電經(jīng)反射到接收器,產(chǎn)生光電脈沖,測速盤旋轉(zhuǎn)一周,產(chǎn)生三個脈沖.閘門由秒脈沖電路產(chǎn)生,周期為兩秒.當(dāng)馬達(dá)旋轉(zhuǎn)時,如果計時器在2秒內(nèi)計的得數(shù)是n,則每分鐘應(yīng)該轉(zhuǎn)了n/(2x3)=n/6轉(zhuǎn),每分鐘旋轉(zhuǎn)(n/6)x60=10n轉(zhuǎn).故計數(shù)器就是每分鐘轉(zhuǎn)速,只不過差一個數(shù)量級.
(五)"吸片"采用電磁閥控制氣路,這樣適合流水線的工藝,一個氣泵可同時帶幾個勻膠機(jī)工作,提高了效率.
(六)勻膠機(jī)的定時功能由時基電路556來完成,把556按單穩(wěn)形式連接,改變RC常數(shù),就可以改變兩個勻膠時間.
(七)智能型調(diào)節(jié)勻膠時間,時間分別控制在1~18秒和3秒~1分鐘.
(八)在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減振措施,保證了在運(yùn)轉(zhuǎn)時噪音很低,保證涂覆表面均勻,保證通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度.
(九)勻膠機(jī)配真空泵使用.
性能指標(biāo):
1,特點是雙轉(zhuǎn)速勻膠機(jī),兩檔轉(zhuǎn)速及勻膠時間分別連續(xù)節(jié),在啟動后先低速運(yùn)轉(zhuǎn),經(jīng)幾秒鐘后轉(zhuǎn)換到高速運(yùn)轉(zhuǎn).
Ⅰ檔 調(diào)速范圍:500-2500轉(zhuǎn)/分 Ⅰ檔 勻膠時間:2-18秒
Ⅱ檔 調(diào)速范圍:1000-8000轉(zhuǎn)/分 Ⅱ檔 勻膠時間:3-60秒
2,LED數(shù)字顯示,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度:±1% ,膠的均勻性:±3% .
3,電源電壓:220V/ 50Hz
4,電機(jī)功率:40W
5,適用:Φ5-Φ100mm硅片及其它材料等勻膠.
真空泵抽氣速率 ≥60升/分
6,體積小,重量輕,操作簡便
儀器尺寸:210×220×160 mm
客戶參考:
美國賓西法尼亞州大學(xué),香港理工大學(xué),香港科技大學(xué),香港城市大學(xué),北京大學(xué),清華大學(xué),復(fù)旦大學(xué),東南大學(xué),北京工業(yè)大學(xué),江蘇工業(yè)大學(xué),上海大學(xué),北京科技大學(xué),電子科技大學(xué) ,中國地質(zhì)大學(xué),廈門大學(xué),天津大學(xué),貴州大學(xué),西南師范大學(xué),香港電訊學(xué)院,陜西師范大學(xué),北京石油化工學(xué)院,重慶西南大學(xué),美國軟物理實驗室,中國石油大學(xué),*蘭州化學(xué)物理研究所固體潤滑國家重點實驗室等。
*半導(dǎo)體所,中國振華集體,富士康納米中心,中天電子,韓國KIM公司,天美公司,等*高校,及半導(dǎo)體微電子行業(yè).。
主要市場
中國、香港、韓國 、新加坡、美國 等國家
產(chǎn)品用途: KW型勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體,硅片,晶片,基片,導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆.
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