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薄膜測厚儀

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更新時間：2014-10-13 05:42:01瀏覽次數(shù)：202次

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長春海洋光電有限公司

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產品簡介

膜厚測量儀

詳細介紹

膜厚測量儀

產品說明

薄膜測量薄膜厚度

新澤西Salt Point公司開發(fā)的薄膜監(jiān)測系統(tǒng)（TDS），在寬帶溶解率監(jiān)測儀（DRM）中集成了一套海洋光學多通道光譜儀，用來分析半導體和光學工業(yè)中使用的超薄的抗蝕膜。 DRM幫助客戶確定膜層的厚度以及應用抗蝕膜后的材料溶解速率這都是控制薄膜生產工藝的重要參數(shù)。在初始化測試中，薄膜監(jiān)測解決方案主要針對膜厚<300nm的應用，相對而言，傳統(tǒng)的單色和多色干涉測量方法在該測量應用中的效果較差。在測試中，TDS采用了一個SD2000雙通道光譜儀，通過一個R系列反射探頭來實現(xiàn)反射式測量。 TDS在其上的報告中的結果顯示了多波長DRM系統(tǒng)能夠在離散的時間間隔內測定薄膜厚度，傳統(tǒng)的DRM系統(tǒng)要監(jiān)測光阻材料比較困難，并且，通過免去了對離散的靜態(tài)的光學厚度測量工具的需求，也給研究者提供了相應附加值。目前，TDS提供了1-, 2-, 4- 和8-通道的配置。TDSzui近正好發(fā)布了它的L系列DRM產品線，新產品可以用于光阻材料的研發(fā)，配方研究，光阻材料生產的質量控制，以及聚合樹脂生產的質量控制。L系列產品線包括多波長和多層分析算法，實現(xiàn)對零度薄膜的離散厚度測量，并且提供非線性溶解速率現(xiàn)象的準確數(shù)據。更詳細的信息請訪問：www.thicknessdetection.com. 概要附著在基底上的薄膜就如同一個標準具，當觀察其表面的反射率時會看到一幅干涉條紋圖樣。當組合不同折射率的材料時，條紋間隔的正弦曲線分布可以用來計算此薄膜的厚度。光譜儀 USB4000-VIS-NIR （350-1000nm）適合用于薄膜的反射測量。光譜儀預先配置了#3光柵，它的閃耀波長在500nm；一個OFLV-350-1000濾光片可以屏蔽二級和三級衍射效應；以及一個25μm 狹縫，可以得到~1.5nm （FWHM）的光學分辨率。取樣光學元件 R400-7-VIS/NIR反射式探頭，90°測量薄膜表面的鏡面反射。再加上一個LS-1鹵鎢燈光源和一個STANSSH高反射率鏡面反射標準參考，組成一套取樣配置。測量從海洋光學的操作軟件中（見上圖）可以觀察到由薄膜基底的膜層產生的干涉光譜。分析zui大值和zui小值處的波長可以確定薄膜的厚度（已知薄膜的折射率）或者確定它的折射率（已知薄膜的厚度）。需要注意的是，樣本的厚度可能不是均勻的；建議測量薄膜的多個位置點。

【光譜測試儀器】

光纖光譜儀  微型光纖光譜儀  高分辨率光譜儀  高靈敏度光譜儀  制冷型光譜儀  中紅外光譜儀  熒光光譜儀  拉曼光譜儀  極紫外光譜儀  真空紫外光譜儀  多通道光譜儀  教學型光譜儀  LED光測量光譜儀  色坐標色溫測量儀  燈具光譜測量儀  透射譜吸光度光譜儀  輻射光譜儀  流體吸光度光譜儀  流體熒光光譜儀  膜厚測量儀  橢偏儀  太陽能電池IPCE測量系統(tǒng)  太陽能電池QE測量系統(tǒng)  太陽能電池光譜響應系統(tǒng)  單色儀  濾光片輪  濾光片透射率測試儀  太赫茲光譜儀  等離子體光譜儀  環(huán)境輻射儀  近紅外光譜儀  元素分析儀  氧含量測量  信號發(fā)生器  近紅外谷物接收系統(tǒng)  顆粒分析儀  熒光壽命光譜儀  三維表面輪廓儀  微型光譜儀

【光學精密機械】

干涉儀  光學平臺  光學鏡架  手動平移臺  手動旋轉臺  手動擺動臺  手動組合平臺  電動平移臺  電動轉動臺  電動擺動平臺  電動組合平臺  壓電陶瓷平臺  壓電陶瓷制動器  高穩(wěn)定防震平臺

【光源】

氙燈光源  氘燈光源  氘鹵雙光源  LED光源燈  鹵素燈光源  光催化氙燈光源  積分球  積分球均勻光源  太陽模擬器  紫外固化機  寬帶超連續(xù)光源  顯微鏡光源

【光學影像】

紫外CCD相機  近紅外CCD相機  制冷型CCD相機  高速相機  夜視儀  顯微鏡  CID相機  紅外相機/熱像儀

【探測器】

照度計  亮度計  輻射計  便攜式色差計  太陽光功率計  快速反應探測器  前置放大探測器  光纖耦合探測器  液氮制冷探測器  皮秒超快探測器  位敏探測器  四象限探測器  雙色探測器  紫外輻照計  硅光電探測器  近紅外探測器  中紅外探測器  雪崩二極管  光電倍增管

【光學元件】

窗片/窗口  反射鏡  透鏡  光學基片  分光鏡  棱鏡  晶體  濾光片  波長板  擴散板  起偏器  光學鏡頭  光纖產品  光柵尺  紅外鏡頭  光柵