設計特點
· 尺寸極小
· 無須輔助和實際的關斷截止
· 全棒料結構
· 適合面板安裝
· 氣密性關斷截止
產品規(guī)格
流量 :15 slpm(在氦氣供應壓力為60psig(413.7KPa)和出口壓力15psig(103.4KPa))
zui大操作壓力: 250 psig (1.72MPa)
zui大操作溫度: 160℉ (71℃)
總壓降 :zui小 10 psi (69.0KPa) ;zui大250 psi (1.72MPa)
性能 :(基于氦氣供應壓力為 60 psig(413.7KPa)和出口壓力為15 psig(103.4KPa)時)
供應壓力波動影響 :供應壓力變化 10 psi(69.0KPa)時,出口壓力變化不會超過0.07 psi(0.48KPa)
環(huán)境溫度影響:(溫度系數) 0.013 psi/℉(0.024 psi/℃)
漂移:zui初 15分鐘少于0.2%,*總體合計少于0.6%
流量靈敏度(衰減): 氦氣流量從 2 sccm變到250 sccm時,出口壓力變化不會超過0.2 psi(1.38KPa)
基線 波動 : 0.0012 psi(8.3Pa)
精確調節(jié)(分辯率) : 15轉
壓力調節(jié) 范圍 : 0-10 psig (69.0KPa)
0-30 psig (206.9KPa)
0-60 psig (413.7KPa)
0-100 psig (689.5KPa)
連接 : 入口和出口均為 1/8”Swagelok;表接口為10-32 UNF-2B
結構材質
主體 :鋁
閥帽 :鋁
提升閥 :不銹鋼
孔 :不銹鋼
膜片 :不銹鋼
范圍彈簧 :琴線