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華林科納—CSE半導(dǎo)體器件設(shè)備-硅片片盒清洗機(jī)
- 公司名稱(chēng)：
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- 所 在 地：
- 生產(chǎn)地址：
- 瀏覽次數(shù)：
- 蘇州華林科納半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)有限公司
- 2014-06-30 04:11:11
- 蘇州市
- 蘇州園區(qū)獨(dú)墅湖高教區(qū)若水路398號(hào)
- 224
【簡(jiǎn)單介紹】
【詳細(xì)說(shuō)明】
設(shè)備由五大部分組成：清洗槽部分、伺服系統(tǒng)及機(jī)械臂部分、層流凈化系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、機(jī)架及整機(jī)。2.清洗槽部分由有機(jī)溶劑槽、去離子水槽、酸槽或堿槽等組成。3.關(guān)鍵件采用進(jìn)口件，包括氣動(dòng)閥，PFA管道、全氟循環(huán)系統(tǒng)，保證工作介質(zhì)（酸、堿）的潔凈度，避免雜質(zhì)析出。4.工藝過(guò)程全自動(dòng)，機(jī)械手在槽間的轉(zhuǎn)換由兩套伺服系統(tǒng)控制，可存儲(chǔ)多條工藝時(shí)序，方便使用。
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聯(lián)系人：徐竹林
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商鋪：http://www.91mtp.cn/st24202/
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