小流量模擬氣體質(zhì)量流量控制器生產(chǎn) 返回列表頁

基本型號

WGL-5180

WGL-5180M

流量規(guī)格①(N2標(biāo)定)

0～10,50,100,500 SCCM

0～15,20,25,30 SLM

調(diào)節(jié)閥類型

常閉式

無

量程比

(2~100)%F.S.或50:1

流量分辨率

0.1%F.S.

準(zhǔn)確

±1％F.S. (≤15SLM)

±2％F.S. (＞15SLM)

重復(fù)精度

±0.2%F.S.

響應(yīng)時間

≤2sec

≤1sec

工作壓差范圍

0.05～0.3MPa （<2slm）<>

0.1～0.3MPa （2SLM-10SLM）

0.15～0.3MPa（>10SLM）

＜2MPa

至大耐壓

2MPa

工作環(huán)境溫度

5~45°℃

電纜接頭

DB15pin(針形)

輸入輸出信號

0～+5.00V（輸入阻抗大于100kΩ，輸 出電流不大于3mA)

0～+5.00V（無輸入信號，輸出電流不 大于3mA)

供電電源要求

+15VDC(50mA)，-15VDC(200mA)

+15VDC(50mA),-15VDC(50mA)

對外單點泄漏率

≤1×10-8Pa·m3/S(He)

介質(zhì)接觸材質(zhì)

316，316L，密封填料

密封材料

氯丁橡膠CR,氟橡膠 FKM

管道接頭尺寸

VCR型接頭：1/4"

雙卡套型接頭：1/4"、3/8"或φ6、φ10 mm

內(nèi)螺紋：9/16-18UNF內(nèi)螺紋（深度＜8mm）

凈重量

1.00kg

0.8kg

注1；滿量程流量不限于表中列出的流量規(guī)格,可以在20SLM~30SLM范圍內(nèi)任選,例如23SLM。