ZDJ-8型/DZA1型數(shù)顯電阻真空計(jì)

一、前言
用戶(hù)在購(gòu)買(mǎi)或使用“ZDJ-8型/DZA1型 數(shù)顯電阻真空計(jì)”之前，必須詳細(xì)閱讀本說(shuō)明書(shū)中有關(guān)條款。ZDJ-8和DZA1功能相同，區(qū)別在于ZDJ-8型是帶著可與電腦連接的通信協(xié)議。

本儀器應(yīng)用真空中熱傳導(dǎo)與真空度有關(guān)的原理測(cè)量真空。采用美國(guó)AD公司16位高速數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)及高穩(wěn)定微處理機(jī)監(jiān)控新型線(xiàn)路，適用于1.0E5—5.0E-2Pa 范圍內(nèi)的真空測(cè)量和控制，采用ZJ-52金屬電阻規(guī)管（國(guó)外稱(chēng)皮拉尼規(guī)），在機(jī)械泵測(cè)試、化工原料真空勾兌、真空冶煉、真空浸漬、空調(diào)冰箱生產(chǎn)線(xiàn)等工業(yè)和科研部門(mén)有廣泛應(yīng)用。

二、主要技術(shù)指標(biāo)

1.真空度測(cè)量范圍: 1.0E5（99999pa）—5.0E-2（0.05pa）

2.測(cè)量信號(hào)電壓(電流)輸出: 0—5V 、1—5V、4—20mA

3.數(shù)字信號(hào)輸出：RS485/RS232半雙工串行/ASCⅡ/波特率9600bps

4.數(shù)字顯示單位: Torr、Pa、mbar(符合中國(guó)、日本、美國(guó)、歐洲使用要求)

5.控制繼電器輸出: 2個(gè)(每個(gè)均可獨(dú)立設(shè)置上下限)；E2ROM閃存; 觸點(diǎn)容量220V/3A。

6.規(guī)管斷絲、規(guī)管電纜斷報(bào)警燈指示。規(guī)管長(zhǎng)電纜自動(dòng)補(bǔ)償（可達(dá)200米）。

7.設(shè)置有softlocker密碼鎖功能，防止數(shù)據(jù)被非者修改(本機(jī)密碼15)

8.工作電源: 交流電，85-265VAC/50-60Hz;

9.外形尺寸: （寬X高X深mm）96X96X145

10. 開(kāi)孔尺寸: （寬X高mm） 92X92

11.顯示方式：測(cè)量顯示窗0.5吋高亮數(shù)碼管；*.*E*科學(xué)記數(shù)法顯示或直讀法顯示（儀器功能菜單中

用戶(hù)自行可選）。

12.真空與時(shí)間的實(shí)時(shí)測(cè)試記錄打印采樣軟件。

13.儀表前面板：

1、輸出繼電器上下限設(shè)定指示燈；2、繼電器輸出指示燈；3、測(cè)量數(shù)據(jù)顯示窗；4、Torr/Pa/mbar測(cè)量單位指示燈；5、按鍵；6（ATM）滿(mǎn)度（大氣）調(diào)整電位器；7、（ZERO）高真空時(shí)零位調(diào)整電位器 8、(FAULT) 規(guī)管斷絲報(bào)警燈；9、電源開(kāi)關(guān)

三、使用方法：(只需測(cè)量帶繼電器控制功能的，不需要匹配電腦的用戶(hù)僅閱讀以下A項(xiàng)即可)

A、基本測(cè)量：

1、將ZJ-52（或ZJ-52K）電阻規(guī)，按真空連接要求接入真空設(shè)備,將真空設(shè)備密封好（在規(guī)管前建議加一只閥門(mén)，平時(shí)不工作時(shí)關(guān)閉閥門(mén)，保持規(guī)管處于真空狀態(tài)，可延長(zhǎng)規(guī)管使用壽命）用規(guī)管線(xiàn)將規(guī)管和儀表連接。

2、插入AC220V電源，打開(kāi)儀表電源開(kāi)關(guān)，即進(jìn)入儀表顯示狀態(tài)，儀器顯示窗顯示的即為真空測(cè)量值，穩(wěn)定10分鐘后在大氣壓狀態(tài)用螺絲刀調(diào)前面板“ATM”孔電位器調(diào)整滿(mǎn)度（即大氣壓atmosphere的縮寫(xiě)），使顯示為9.9E4Pa（或9.9E2mbar或7.6E2Torr）。順時(shí)針調(diào)大，反時(shí)針調(diào)小，(多圈電位器有20圈可調(diào))。顯示1.0E5Pa（或1.0E3mbar或7.7E2Torr）則為調(diào)過(guò)頭。調(diào)到9.9E4Pa-1.0E5Pa（或9.9E2mbar-1.0E3mbar或7.6E2Torr-7.7E2Torr）臨界點(diǎn)為好。

3、開(kāi)啟真空設(shè)備的抽氣泵即能測(cè)量出真空度的變化。

注：[若要調(diào)整儀表的零點(diǎn)，可將真空系統(tǒng)用擴(kuò)散泵或分子泵抽至1.0E-2Pa（或1.0E-4mbar或1.0E-4Torr）以上，穩(wěn)定10分鐘后用螺絲刀調(diào)整面板“ZERO”孔零點(diǎn)電位器，使顯示5.0E-2Pa（或5.0E-4mbar或5.0E-4Torr）。順時(shí)針調(diào)大，反時(shí)針調(diào)小，(多圈電位器有20圈可調(diào))，顯示1.0E-2Pa（或1.0E-4mbar或1.0E-4Torr）則為調(diào)過(guò)頭。]。

4、讀數(shù)方法：本儀表有直讀法和冪次方顯示二種顯示法（用戶(hù)可在儀表上自己設(shè)置），舉例：直讀法365Pa=冪次方3.6E2Pa=3.6x10的2次方 Pa ；直讀法6.4Pa=冪次方6.4E0Pa；直讀法0.15Pa=冪次方1.5E-1Pa。

5、若用戶(hù)真空上不去，可觀測(cè)到真空泵的排氣口上有淡淡的青煙和真空泵發(fā)出的咯咯的不規(guī)則響聲，切斷真空泵后面的容器后，如果仍然有這聲音，就說(shuō)明這臺(tái)真空泵質(zhì)量有問(wèn)題了。真空系統(tǒng)如果是玻璃的，可直接購(gòu)買(mǎi)一個(gè)我公司生產(chǎn)的高頻電火花真空檢漏儀，是金屬系統(tǒng)的，較省錢(qián)的方法就是往密閉的真空系統(tǒng)里打壓2公斤的壓力，在焊接的部分涂上濃濃的肥皂水，冒泡了，漏點(diǎn)就等于被你檢查出來(lái)了；當(dāng)然還有鹵素檢漏儀和氦質(zhì)譜檢漏儀等等。

B、儀表的設(shè)置：

功能設(shè)定：

ZDJ-8型/DZA1型電阻真空計(jì)按鍵功能操作表

（面板上SET、△、▽、↙四個(gè)鍵）

序號(hào)按鍵顯示狀態(tài)用戶(hù)操作(注：按↙回車(chē)鍵后，輸入的數(shù)據(jù)將得到保存)

1、SET數(shù)顯窗顯LOC□□，密碼方格閃動(dòng) 用△和▽鍵輸入密碼15(若密碼不正確則只能查看）

2、↙Un1，Torr、Pa、mbar單位制燈閃動(dòng)用△和▽鍵選所需單位制燈亮

3、↙L和J1燈亮，數(shù)顯窗數(shù)字閃動(dòng)用△和▽鍵輸入J1繼電器下限值

4、↙H和J1燈亮，數(shù)顯窗數(shù)字閃動(dòng)用△和▽鍵輸入J1繼電器上限值

5、↙L和J2燈亮，數(shù)顯窗數(shù)字閃動(dòng)用△和▽鍵輸入J2繼電器下限值

6、↙H和J2燈亮，數(shù)顯窗數(shù)字閃動(dòng)用△和▽鍵輸入J2繼電器上限值

7、↙數(shù)顯窗顯cod□□，通訊地址碼閃動(dòng) 用△和▽鍵輸入所需RS485通訊地址碼

8、↙數(shù)顯窗顯Dis □，顯示模式碼閃動(dòng) 用△和▽鍵輸入0為直讀、1為冪次方顯示

9、↙數(shù)顯窗恢復(fù)顯示真空計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù) 即使用戶(hù)不斷按↙鍵，數(shù)顯窗均顯示測(cè)量數(shù)據(jù)

設(shè)置操作注意：1）、儀表在設(shè)置態(tài)若超過(guò)30秒不操作鍵，則30秒后儀表自動(dòng)恢復(fù)測(cè)量態(tài)。2）、繼電器上限設(shè)定值必須≥下限設(shè)定值,否則儀表自動(dòng)強(qiáng)制更正。3)單擊△和▽鍵，數(shù)字單個(gè)升降；雙擊△和▽鍵，數(shù)字連續(xù)升降；雙擊△鍵后可按▽鍵停止，反之亦然。

C、輸出控制繼電器使用注意點(diǎn)： 1）、輸出控制繼電器理論上可以接AC220V/3A阻性負(fù)載或AC220V/1A感性負(fù)載，但建議用戶(hù)用中間繼電器過(guò)渡，這樣的好處是萬(wàn)一發(fā)生故障只燒中間繼電器保護(hù)了真空計(jì)內(nèi)繼電器的安全（注意：繼電器每組輸出觸點(diǎn)上并有0.01微法的滅弧電容,當(dāng)接交流負(fù)載時(shí)可能會(huì)有幾毫安的漏電流,但接直流負(fù)載時(shí)不會(huì)有影響）。

2）、每路輸出繼電器的上限設(shè)定必須≥下限設(shè)定，當(dāng)上限設(shè)定大于下限設(shè)定時(shí)，控制輸出有一個(gè)回差，即當(dāng)測(cè)量值低于繼電器下限設(shè)定時(shí)，繼電器得電，常開(kāi)觸點(diǎn)接通，常閉觸點(diǎn)斷開(kāi)，面板上相應(yīng)繼電器燈（J1或J2燈）點(diǎn)亮；當(dāng)測(cè)量值大于繼電器上限設(shè)定時(shí)，該繼電器失電，常開(kāi)觸點(diǎn)斷開(kāi)，常閉觸點(diǎn)接通，面板上相應(yīng)繼電器燈（J1或J2燈）滅(例:某旋片真空泵節(jié)電運(yùn)行:將該泵通過(guò)中間繼電器接入本儀表J1繼電器常閉回路中,該J1的H(上限)設(shè)為50Pa,J1的L(下限)設(shè)為10Pa，則當(dāng)真空泵通上電從大氣開(kāi)始抽氣到達(dá)10Pa后,泵自動(dòng)停止工作,當(dāng)系統(tǒng)內(nèi)真空緩慢泄漏至50Pa時(shí)真空泵又自動(dòng)開(kāi)始抽氣),這在控制工程中是非常有用的，可以防止在動(dòng)作點(diǎn)附近頻繁開(kāi)關(guān)電器；當(dāng)上限設(shè)定=下限設(shè)定時(shí)，控制輸出沒(méi)有回差，可以用作控制工程的精確控制。本儀器軟件設(shè)計(jì)上考慮了用戶(hù)設(shè)置時(shí)可能發(fā)生的粗心，當(dāng)上限設(shè)定小于下限設(shè)定時(shí)，軟件自動(dòng)糾錯(cuò)，強(qiáng)制使上限設(shè)定=下限設(shè)定）。

D、本儀表允許用戶(hù)24小時(shí)不斷電持續(xù)使用，儀表設(shè)置有watchdog看門(mén)狗電路，防止軟件的失控。

E、若規(guī)管斷絲或規(guī)管線(xiàn)斷則面板上“F”燈（失效Fault燈）亮，提醒用戶(hù)更換規(guī)管或修復(fù)規(guī)管線(xiàn)。

H、儀表和上位機(jī)（計(jì)算機(jī)）的通信(可電詢(xún)021－ )

（1）．通信協(xié)議-------（沒(méi)有配套電腦的可不用瀏覽該項(xiàng)內(nèi)容）。

1.發(fā)送命令：

命令：%（Addr）S 共4字節(jié)。

2.響應(yīng)：> (Addr單字節(jié)) = (data共6字節(jié)) (Unit共4字節(jié)) (CHK單字節(jié)十六進(jìn)制) 共15字節(jié) 。

3.出錯(cuò)響應(yīng)：? (Addr) 共3字節(jié)。

4.%: 25h, 命令同步碼。

5.S: 53h, 命令查設(shè)備真空值。

6.>: 3eh, 響應(yīng)同步碼。

7.=: 3dh, 設(shè)備真空值等于。

8.Addr: 30h-39h，共可選擇10個(gè)設(shè)備。

9.Data: 真空值高位+2eh(小數(shù)點(diǎn))+ 真空值低位+45h(E)+2bh/2dh(+/-指數(shù)符號(hào))+ 真空指數(shù)。

10.Unit: 依次表示Torr、Pa、mbar三種單位，Pa后面跟2個(gè)空格(20h)

11.CHK:為校驗(yàn)和是前13個(gè)字節(jié)累加和的低字節(jié)。

12.: 0dh(回車(chē))。

13.？: 3fh, 出錯(cuò)響應(yīng)說(shuō)明響應(yīng)同步碼和設(shè)備號(hào)接收正確，但S或接收錯(cuò)誤。

13.波特率：9600bps

14.位數(shù)： 8

15.奇偶校：無(wú)

16.格式： ASCII碼

17.方式：半雙工

18.接口： RS485

19.舉例：通訊時(shí)電腦收到真空計(jì)發(fā)出的15位數(shù)據(jù)：3E 30 31 31 2E 37 45 2B 32 50 61 20 20 C9 0D,此15位數(shù)據(jù)可解讀為：響應(yīng) 0#真空計(jì) 真空計(jì)中1#通道采樣數(shù)據(jù) 1 . 7 E + 2 P a 空格 空格 校驗(yàn)和 回車(chē)；此時(shí)真空計(jì)上讀數(shù)為1.7E2Pa。

（2）．通信測(cè)試方法(可電詢(xún)021－)：

1.10臺(tái)以下真空計(jì)A、B端用網(wǎng)線(xiàn)并聯(lián)通過(guò)RS485/RS232轉(zhuǎn)換器(我方用捷瑞電訊MODEL2102RS485/RS232轉(zhuǎn)換器)直接與個(gè)人計(jì)算機(jī)串口連接

2.接通電阻真空計(jì)供電電源。

3.打開(kāi)隨機(jī)光盤(pán)上“串行測(cè)試包”文件夾，運(yùn)行setup.exe安裝程序。

4.運(yùn)行“測(cè)試串口”應(yīng)用程序。

5.由主界面進(jìn)入“設(shè)置參數(shù)” 界面，正確選擇所用串口并確認(rèn)。

6.主界面右下側(cè)的滑軌拖曳到15，“地址”復(fù)選框、“十六進(jìn)制碼”復(fù)選框無(wú)效，選中“ASCⅡ碼”復(fù)選框和“4/8位地址”復(fù)選框；單擊“開(kāi)始接收”按鈕。

7.在“發(fā)送內(nèi)容”的文本框中選“按16進(jìn)制”

8.在“發(fā)送內(nèi)容”的文本框中鍵入：2530530d (十六進(jìn)制)

單擊“手動(dòng)發(fā)送”按鈕，在“接收回顯” 文本框中就收到0號(hào)電阻真空計(jì)的信息。

9.在“發(fā)送內(nèi)容”的文本框中鍵入：2531530d (十六進(jìn)制)

單擊“手動(dòng)發(fā)送”按鈕，在“接收回顯” 文本框中就收到1號(hào)電阻真空計(jì)的信息。

10.其他以次類(lèi)推，最多可選擇10個(gè)真空計(jì)。

11.單擊“自動(dòng)發(fā)送”按鈕，在“接收回顯” 文本框中就收到每秒1幀的連續(xù)信息。

12.單擊“清除”按鈕，就清除了“接收回顯” 文本框中的內(nèi)容。

本儀表RS485串行口輸出，雙絞線(xiàn)距離傳輸1200米，可多機(jī)(最多十臺(tái))并聯(lián)（每臺(tái)真空計(jì)用戶(hù)須設(shè)置不同的cod）經(jīng)RS485——RS232轉(zhuǎn)換器(我方選用捷瑞電訊MODEL-2102轉(zhuǎn)換器)插入筆記本電腦或臺(tái)式電腦的RS232串行口上，即可將真空計(jì)的測(cè)量數(shù)據(jù)傳送到電腦上顯示，網(wǎng)上下載 實(shí)驗(yàn)室儀器 sys 儲(chǔ)存或者打印下來(lái)。

I: 本儀表0-5V輸出端口電壓（mV）-真空度（Pa）對(duì)照表

電壓（mV）真空度（Pa）電壓（mV）真空度（Pa）電壓（mV）真空度（Pa）

0 0 1373 8.0E1 4638 8.0E3

12 1.0E-1 1461 9.0E1 4716 1.2E4

24 3.4E-1 1542 1.0E2 4743 1.5E4

36 5.5E-1 2138 2.0E2 4753 1.7E4

48 8.4E-1 2519 3.0E2 4765 2.0E4

61 1.0E0 2795 4.0E2 4789 2.6E4

73 1.3E0 3010 5.0E2 4814 3.4E4

85 1.5E0 3176 6.0E2 4838 4.6E4

98 1.8E0 3321 7.0E2 4863 7.6E4

134 2.7E0 3421 8.0E2 4887 9.0E4

256 6.0E0 3528 9.0E2 4912 9.2E4

349 9.0E0 3614 1.0E3 4936 9.4E4

376 1.0E1 4100 2.0E3 4969 9.9E4

610 2.0E1 4308 2.7E3 5000 1.0E5

782 3.0E1 4415 3.6E3

928 4.0E1 4491 4.4E3

997 4.5E1 4540 5.0E3

1063 5.0E1 4577 5.7E3

1175 6.0E1 4604 6.4E3

1280 7.0E1 4623 7.2E3

* 1-5V輸出端口轉(zhuǎn)換公式：y(mV)=4x(mV)/5+1000

* 4-20mA輸出端口轉(zhuǎn)換公式：y(mA)=【4x(mV)+5000】/1250

【注：以上公式中的x（mV）填入上面0-5V輸出端口表格中的mV數(shù)。】

J、本儀表功能助記符及操作術(shù)語(yǔ)：

Loc——soft Locker 意為密碼鎖

unI——unit 意為測(cè)量單位

J1 L——J1 Low 意為輸出繼電器下限

J1 H——J1 High 意為輸出繼電器上限

J2 L——J2 Low 意為輸出繼電器下限

J2 H——J2 High 意為輸出繼電器上限

cod—— Code 意為本機(jī)串行通信識(shí)別編碼

dis¬¬¬¬——display 意為顯示模式

SET——setpoint 意為設(shè)置點(diǎn)

5.2E2Pa=520Pa; 3.0E-1Pa=0.3Pa

1Torr=133.322Pa; 1Torr=1.33322mbar

一、

ZDJ-8型/DZA1型后面板輸出口腳號(hào)：

1-----------------------------------1#繼電器常開(kāi)觸點(diǎn)

2-----------------------------------1#繼電器動(dòng)觸點(diǎn)

3-----------------------------------1#繼電器常閉觸點(diǎn)

4-----------------------------------2#繼電器常開(kāi)觸點(diǎn)

5-----------------------------------2#繼電器動(dòng)觸點(diǎn)

6-----------------------------------2#繼電器常閉觸點(diǎn)

7------------------------------------空腳

8------------------------------------空腳

9------------------------------------傳感器信號(hào)測(cè)試輸出

10-----------------------------------1—5V測(cè)量信號(hào)電壓輸出

11-----------------------------------0—5V測(cè)量信號(hào)電壓輸出

12-----------------------------------1—2V測(cè)量信號(hào)電壓輸出

13-----------------------------------4—20mA測(cè)量信號(hào)電流輸出

14------------------------------------測(cè)量信號(hào)輸出地回路

15------------------------------------RS485串行異步半雙工通信輸出A端

16------------------------------------RS485串行異步半雙工通信輸出B端

五、規(guī)管外形的選型：

ZJ-52電阻規(guī)是直插式規(guī)管的，可直接插入內(nèi)徑12mm的真空橡皮管或金屬真空規(guī)管接頭組件；ZJ-52K電阻規(guī)是快卸式金屬規(guī)，可用快速連接卡箍（帶中心O型像膠密封圈）連接，二種連接件的加工圖紙可致電本公司技術(shù)科索取。(電纜線(xiàn)請(qǐng)選用RVVP-4*0.3平方的四芯屏蔽電纜)

六、儀器成套性:（真空配件如卡箍、短節(jié)、不銹鋼波紋管等請(qǐng)致電我公司另行購(gòu)買(mǎi)）

1. ZDJ-8/DZA1電阻真空計(jì)顯示器 一臺(tái)

2. ZJ-52 (或ZJ-52KF16)金屬電阻規(guī) 一支

3. 規(guī)管電纜1.5米（可放長(zhǎng)到100米） 一根

4. 電源電纜 一根

5. 使用說(shuō)明書(shū) 一份

6. 產(chǎn)品合格證 一份

7. RS485-RS232轉(zhuǎn)換口（用戶(hù)選購(gòu)件） 一個(gè)

七. 故障檢測(cè)及維修

1.本儀表是絕壓式測(cè)量?jī)x表,絕壓基準(zhǔn)為0.01Pa,滿(mǎn)度一次調(diào)好后隨著儀表和規(guī)管的使用期的增長(zhǎng)，滿(mǎn)度值會(huì)下降，用戶(hù)可以不用經(jīng)常調(diào)整，不會(huì)影響3000Pa以下真空度的測(cè)量的準(zhǔn)確性，為了保證在粗真空段的測(cè)量準(zhǔn)確，建議用戶(hù)再購(gòu)買(mǎi)一個(gè)測(cè)量U-2型的絕壓U形真空計(jì)，便于相互參照糾正偏差。

2.顯示1.0E-2Pa(1.0E-4mbar; 1.0E-4Torr)同時(shí)“F”燈亮是規(guī)管未接或規(guī)管絲斷，規(guī)管絲斷無(wú)法修理，必須重新購(gòu)買(mǎi)。

3.測(cè)量誤差大可能是規(guī)管沾污需重新校正零點(diǎn)和滿(mǎn)度，請(qǐng)?jiān)?.01Pa以上高真空條件下調(diào)零點(diǎn)電位器。

4.測(cè)量時(shí)數(shù)字顯示上下亂跳可能是真空設(shè)備有漏氣，請(qǐng)檢查真空連接部分要求將真空設(shè)備密封好。

5.抽氣時(shí)間增加而真空讀數(shù)反方向變大，一般是已到該泵的極限真空（或該泵用油品質(zhì)不佳，泵芯旋轉(zhuǎn)摩擦后溫度上升使油液化粘度下降，導(dǎo)致泵腔真空密封性能不良）

6.儀表一般不易損壞，有故障大都是規(guī)管有問(wèn)題，請(qǐng)更換規(guī)管，建議再另外購(gòu)買(mǎi)一支規(guī)管，顯示器免費(fèi)保修二年（規(guī)管是易損件不屬保修范圍）。

警告：后面板接線(xiàn)樁必須按說(shuō)明書(shū)要求聯(lián)接，接錯(cuò)會(huì)導(dǎo)致儀表毀滅性的損壞。

儀器返廠修理時(shí)（一定要用泡沫填充物包扎好）用順豐快遞或門(mén)對(duì)門(mén)的快遞寄回本單位。

八、儀表功能的拓展：

1.在測(cè)量值從 （大氣壓－0.05Pa）低真空測(cè)量請(qǐng)選本單位的ZDJ-8型/DZA1型數(shù)顯電阻真空計(jì)（皮拉尼真空計(jì)），為了獲取較精確的真空數(shù)據(jù)建議增配壹臺(tái)U-2 U型真空計(jì)；

2.在300pa-0.1pa的真空測(cè)量請(qǐng)選用ZDJ-3型的數(shù)顯式熱偶真空計(jì)。

3.如果真空系統(tǒng)內(nèi)部有濕度和溫度變化較大的話(huà)，建議選用本公司生產(chǎn)的PM系列的麥?zhǔn)险婵沼?jì)或者是測(cè)量粗真空的U型真空計(jì)進(jìn)行比對(duì)測(cè)量。