實現(xiàn)在超高真空環(huán)境下的三維立體移動, 采用焊接波紋管密封達(dá)到放出氣體少的使用要求。
產(chǎn)品特點
(1)Z軸采用高精密螺桿和精密加工螺母使Z方向直線移動順暢Z軸的長距離行程, 可供多個窗口制備樣品;
(2)X, Y軸采用高精密交叉滾子導(dǎo)軌, 使得X, y 向移動順暢非常適合于微小偏移, 實現(xiàn)樣品的精密控制;
(3)可配合樣品加熱臺磁力轉(zhuǎn)軸安裝,支持定制。
三維操作臺
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