單硅(芯)片清洗機(jī)是一種*的劃片后清洗設(shè)備。華林科納CSE供應(yīng)
該產(chǎn)品主要用于清除切割道里面的廢屑,是劃片后的重要工序。
一、主要技術(shù)特點(diǎn):
1.可靠的控制系統(tǒng)
2.觸摸屏顯示
3.可設(shè)置和存儲(chǔ)工藝菜單
4.高壓去離子水泵
5.體積小
6.噴頭H軸Y軸調(diào)節(jié)
7.在線電阻率檢測(cè)水質(zhì)
8.清洗后高純氮?dú)獯蹈蛇^程
9.內(nèi)置真空發(fā)生器(吸附)
10.自動(dòng)排水裝置
11.對(duì)硅片定位框架的安全鎖定
12.二氧化碳防靜電裝置(可選)
13.兆聲波發(fā)生器(可選)